高纯硅烷（SiH4）是半导体工业、电子信息产业、新能源产业的基础原材料，广泛应用于LCD平板显示、半导体、太阳能等行业。其纯度高、无污染，对设备没有腐蚀，能实现精细控制，已经成为其它硅源气体无法取代的重要特种气体。
本技术采用氯硅烷歧化法工艺，又称UCC法，工艺符合大化工概念，系统闭路循环，极少副产物产生，可以灵活制备多种产品，所得产品纯度高。