化工类工艺技术及装备

硅烷气充装技术

来源:浙江精功新材料技术
硅烷气充装技术主要是将硅烷生产单元生产出的高纯硅烷气安全地充入到特定容器中,如钢瓶集束、Y-瓶、管束拖车(鱼雷车),该技术具有在充装过程中产生的废气少,所得产品纯度高的等优点。
硅烷气充装技术(图1)