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硅烷CVD沉积炉

来源:浙江精功新材料技术
电子级多晶硅是主要的半导体电子材料,也是国防航空航天的基础材料,其后续产品广泛应用于电子信息领域。随着我国电子工业的迅速发展,特别是高科技领域的迅猛发展,我国对电子级多晶硅的需求日夜增加。浙江精功新材料所拥有的电子级多晶硅生产技术是利用高纯硅烷气在硅烷化学沉积炉(CVD)中发生热分解反应从而制得超高纯电子级多晶硅(11N)。本公司技术团队通过对硅烷CVD及相关工艺的消化吸收和开发优化,使其生产电子级多晶硅的能耗更低,产品质量更稳定。