浙江精功新材料所拥有的流化床工艺制造三氯氢硅通过对工艺和设备进行优化，使得装置连续生产周期大大延长，生产成本大大降低，安全性大大增强，对高沸和低沸物进行回收处理，装置环保、副作用少。